在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言
获奖教师代表路新春
（2024年9月10日）
尊敬的各位老师、同学们：
大家好！
我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是“自立自强，持之以恒，服务国家重大需求”。
我们团队的成果“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”荣获2023年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成电路制造的五大关键技术之一，难度极高。早在2000年我们团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基金、973等项目支持，从2008年开始得到国家专项的支持，2013年在清华大学和天津市支持下成立华海清科股份有限公司，开始了化学机械抛光装备产业化进程。2014年研制出国内首台12英寸化学机械抛光商业机型，打破了国际巨头专业壁垒和产品垄断。从2015年我们具有自主知识产权的化学机械抛光装备进入集成电路生产线至今，解决了集成电路制造中抛光装备“卡脖子”问题，此外，该项目培养的研究生在国际会议获奖10余人次，也培养了一批顶天立地的科技产业人才。
该项目历经
